[发明专利]纺织钢筘上的DLC涂层镀膜方法及设备

摘要

本发明揭示了一种纺织钢筘上的DLC涂层镀膜方法，包括真空溅射镀膜或者多弧离子束技术制备金属过渡层的步骤和真空离子镀膜技术制备DLC涂层的步骤。本发明还揭示了一种可以应用上述镀膜方法的设备。本发明的突出效果为：将DLC涂层成功应用于纺织钢筘上，解决了钢筘表面的耐磨性问题，钢筘膜层硬度提高到HV0.0252500~3500，且具有耐磨、耐腐蚀、高结合力、低摩擦系数等性能，从而有效提高钢筘性能及使用寿命，提高了纺织效率节约了纺织成本，保证了纺织产品质量。

主权项

纺织钢筘上的DLC涂层镀膜方法，其特征在于：包括如下步骤，工件清洗步骤，对纺织钢筘进行超声波清洗，并用氮气吹干；装夹步骤，将所述清洗完毕的纺织钢筘安装于真空室内的转架上；抽真空步骤，将真空室抽至5*10‑3Pa以上的真空度；加热步骤，开启位于真空室内的加热器进行加热，将真空室内和纺织钢筘实体加热到100~200摄氏度，并在整个镀膜工艺过程中保持恒温；离子清洗步骤，向真空室中通入5N以上的纯度的高纯氩气，使真空室压力达到并保持在0.1‑0.5Pa，开启离子束电源，开始对所述纺织钢筘的表面进行离子清洗工序；离子清洗过程中，施加在离子束上的工作电压为1000‑2000V，工作电流为50‑150mA；纺织钢筘上施加500V~2000V脉冲偏压，占空比大于20％；离子清洗工序的时间为10‑60分钟；沉积金属过渡层步骤，该步骤可以为[A]或[B]方式选其一，[A] 保持真空度在0.1‑2Pa，开启磁控溅射电源，电流导通到带有Cr靶或Ti靶的磁控溅射阴极，开始进行金属过渡层的沉积，沉积时施加在磁控溅射靶上的直流电源功率大于1KW；纺织钢筘上施加大于500V的脉冲偏压，占空比大于30％；金属过渡层沉积时间为15‑60分钟； [B] 保持真空度在0.1‑2Pa，开启多弧电源，电流导通到带有Cr靶或Ti靶的阴极电弧源，开始进行金属过渡层的沉积，沉积时直流电源施加在阴极电弧靶上的电流大于60A；纺织钢筘上施加小于500V的脉冲偏压，占空比大于30％；金属过渡层沉积时间15‑60分钟； 沉积DLC涂层步骤，向真空室内通入碳氢类气体，保持真空度在0.05‑0.5Pa，开启离子束电源开始DLC涂层的沉积，施加在离子束上的工作电压大于1000V，工作电流为50‑300mA；纺织钢筘上施加大于500V的脉冲偏压，占空比大于10％；沉积时间为100‑200min；降温冷却步骤，关闭离子束电源、偏压电源、气体源和加热电源，保持高真空泵抽气状态，对产品进行真空室内随炉降温冷却10‑60min，完成。