[发明专利]一种可控还原气氛泡生炉

摘要

本发明公开了一种可控还原气氛泡生炉，所述泡生炉包括软件控制系统、电控系统、提拉系统、压力平衡系统、断电保护系统、冷却系统、旋转称重系统、真空充气炉室和温场系统，其特征在于：还包括一套低真空压力平衡系统。本发明通过引入低真空压力平衡系统，对传统泡生法设备的真空系统、控制系统、温场系统和保护系统重新整合，可以实现晶体生长与退火一次完成，可有效解决热交换法和温梯法存在的碳元素和钼元素的污染问题，而且可避免在晶体生长过程中由外界带来的碳污染问题；利用本发明提供的可控还原气氛泡生炉，可生长大尺寸的光学级蓝宝石或钛宝石晶体，以满足国内外高功率激光器在军事及民用方面的需求。

主权项

一种可控还原气氛泡生炉，包括：软件控制系统、电控系统、提拉系统、压力平衡系统、断电保护系统、冷却系统、旋转称重系统、真空充气炉室和温场系统，软件控制系统连接称重旋转系统、电控系统和提拉系统，电控系统连接称重旋转系统、真空充气炉室、提拉系统、压力平衡系统和断电保护系统，冷却系统连接称重旋转系统、真空充气炉室、温场系统、提拉系统、压力平衡系统和断电保护系统，温场系统连接真空充气炉室；所述温场系统包括加热器、上保温屏、下保温屏和侧保温屏；所述真空充气炉室内设有坩埚，上保温屏、下保温屏和侧保温屏设置于坩埚的上下侧三面，加热器设置于坩埚的外侧，侧保温屏上方设有水冷铜电极弧板；所述真空充气炉室外还设有水冷铜电极，真空充气炉室还连接有真空机组，上方设有提拉机构；所述真空机组上方设有电控柜；其特征在于：所述可控还原气氛泡生炉还包括一套低真空压力平衡系统，低真空压力平衡系统包括进气口、出气口、压力传感器、压力信号转换器、阀门位置控制仪表及可控制阀门；所述进气口连接进气流量控制器，进气流量控制器连接真空充气炉室；所述出气口连接可控制阀门，可控制阀门连接阀门控制仪表，阀门控制仪表连接压力信号转换器，压力信号转换器连接真空充气炉室，压力信号转换器还连接设置于真空充气炉室外侧的压力传感器。