[发明专利]基于探针力曲线的材料物理特性测量系统及方法无效
| 申请号： | 201110449101.3 | 申请日： | 2011-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN103185812A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 刘志华;董再励 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳自动化研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01N3/00;G01N19/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 周秀梅;许宗富 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于原子力显微镜探针力曲线的材料物理特性测量系统及方法。该方法利用高速、高精度的数字采集卡与数字控制器，实现对探针力曲线测试过程宽频带，高分辨率测量。从而实现对探针力曲线中峰值力的精确控制与测量。在获取力曲线的基础上，利用Hertz接触模型与Derjaguin-Muller-Toporov(DMT)模型获取样品表面的形貌信息；利用功耗散与力曲线面积积分的方法获取样品的粘滞力与耗散能信息。本发明中包含了大量反映样品表面物理特性的信息。大大提高了原子力显微镜的应用范围，推动了相关研究领域的发展，具有十分重要的科学价值与良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 探针 曲线 材料 物理 特性 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基于探针力曲线的材料物理特性测量系统，其特征在于，包括A/D转换单元，用于采集由探针倾角变化所引起的偏差信号；核心控制器，接收A/D转换单元提供的偏差信号，进行信息处理，通过D/A转换单元向样品台发送运动控制指令；D/A转换单元，用于控制样品台的三维运动；DSP，用于获取探针力曲线数据和样品表面的物理特性信息。
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