[发明专利]一种基于液压原理的大平面微小位移平动驱动装置

摘要

一种基于液压原理的大平面微小位移平动驱动装置，本发明属于几何量计量技术，涉及对精密运动执行结构的改进。该装置包括位移发生膜片、壳体、液压油、导管、波纹管、丝杠、滑块、电机及相应的运动控制器。位移发生膜片安装在壳体上，壳体与导管相连，导管与波纹管相连，以上各部分组成了一个封闭的空间，内部充满了液压油；滑块与波纹管的末端相连，滑块同时是丝杠的螺母，丝杠的旋转将实现滑块的平动，电机连接在丝杠的端部，运动控制器用于控制电机的运动。

主权项

一种基于液压原理的大平面微小位移平动驱动装置，其特征在于，包括位移发生膜片(1)、壳体(2)、液压油(3)、导管(4)、波纹管(5)、丝杠(6)、滑块(7)、电机(8)及运动控制器(9)，其连接关系为：位移发生膜片(1)安装在先体(2)上，壳体(2)与导管(4)相连，导管(4)与波纹管(5)相连，以上各部分组成了一个封闭的空间，内部充满液压油(3)；滑块(7)与波纹管(5)的末端相连，滑块(7)同时是丝杠(6)的螺母，丝杠(6)的旋转实现滑块(7)的平动，电机(8)连接在丝杠(6)的端部：丝杠(6)由电机(8)带动，运动控制器(9)连按电机(8)，电机(8)由运动控制器(9)控制。