[发明专利]微结构加工方法无效
申请号: | 201110441000.1 | 申请日: | 2011-12-26 |
公开(公告)号: | CN102530836A | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 刘若鹏;赵治亚;法布里齐亚·盖佐;何雪涵;王文剑 | 申请(专利权)人: | 深圳光启高等理工研究院 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 柏尚春 |
地址: | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明提供一种超材料的微结构加工方法,该方法激光诱导固相沉积的方式,首先将金属甲酸盐溶于水配成溶液;其次清洗基片并烘干;再次用金属甲酸盐溶液涂于基片表面,并干燥成膜;最后用激光器在基片上写入预设的微结构。根据本发明的方法来加工微结构,可快速简单高效而精确地在基底材料上制备金属微结构。 | ||
搜索关键词: | 微结构 加工 方法 | ||
【主权项】:
一种微结构加工方法,该方法包括以下步骤:a、将金属甲酸盐溶于水配成溶液;b、清洗基片并烘干;c、用金属甲酸盐溶液涂于基片表面,并干燥成膜;d、用激光器在基片上写入预设的微结构。
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