[发明专利]平面镜反射面平整度的检测装置及其使用方法

摘要

本发明涉及一种平面镜反射面平整度的检测装置，属于光学技术领域；装置包括激光器、扩束镜、针孔、准值透镜、分束镜、待测平面镜、屏幕；从左到右依次按直线放置，顺序为激光器、扩束镜、针孔、准值透镜和分光镜，激光器和扩束镜两者共轴，扩束镜到针孔的距离为扩束镜的焦距，针孔到准值透镜的距离为准值透镜的焦距；本发明可以通过简单的装置测出反射镜反射面的粗糙程度，同时测量精度高，使用方便，结构简单。

主权项

一种平面镜反射面平整度的检测装置，其特征在于：检测装置包括激光器（1），扩束镜（2），针孔（3），准值透镜（4），分束镜（5），待测平面镜（6），屏幕（7）；从左到右依次按直线放置，顺序为激光器（1），扩束镜（2），针孔（3），准值透镜（4）和分光镜（5），激光器（1）和扩束镜（2）两者共轴，扩束镜（2）到针孔（3）的距离为扩束镜（2）的焦距，针孔（3）到准值透镜（4）的距离为准值透镜（4）的焦距。