[发明专利]一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括如下步骤：(1)将待处理硅片放于扩散炉中，升温至750~830℃；(2)待温度稳定后，使炉内各温区的温度均升至800~880℃，升温的同时通入0.4~3L/min的携HCl气体；(3)停止通入携HCl气体，只通入0.4~3L/min的干氧；(4)同时通入携磷源气体和干氧进行扩散；(5)停止通入干氧和携磷源气体，只通入0.4~3L/min的携HCl气体；(6)停止通入携HCl气体，只通入0.4~3L/min的干氧；(7)降温出舟。本发明避免了现有工艺中由于在富氧的环境中，氢扩散速度较慢，氧或氧沉淀可能和氢结合，阻碍氢的扩散等问题；实验证明：相比现有工艺，采用本发明的方法得到的太阳能电池的光电转换效率约有0.3%左右的绝对值提升，取得了意想不到的效果。

主权项

一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：(1) 将待处理硅片放于扩散炉中，升温至750~830℃，炉内环境为氮气气氛，氮气流量8~30 L/min；(2) 待温度稳定后，使炉内各温区的温度均升至800~880℃，升温的同时通入0.4~3 L/min的携HCl气体，时间为10~40 min；(3) 停止通入携HCl气体，只通入0.4~3 L/min的干氧，时间5~20 min；(4) 同时通入携磷源气体和干氧进行扩散，扩散时间为10~40 min，所述携磷源气体的流量为0.4~3 L/min，干氧的流量为0.4~3 L/min；(5) 停止通入干氧和携磷源气体，只通入0.4~3 L/min的携HCl气体，时间5~20 min；(6) 停止通入携HCl气体，只通入0.4~3 L/min的干氧，时间5~20 min；(7) 降温出舟，完成扩散过程。