[发明专利]一种纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层及其制备方法有效
申请号: | 201110419340.4 | 申请日: | 2011-12-15 |
公开(公告)号: | CN103158293A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 黄峰;葛芳芳;王博;王怀勇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | B32B15/04 | 分类号: | B32B15/04;B32B18/00;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/18;C23C14/06 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种具有纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层及其制备方法,其特征在于该TiB2/Ni涂层是由金属Ni和TiB2原位复合而成,具有多层金属Ni层与TiB2陶瓷层相互叠加而成的纳米层状结构,其中每层的厚度为6-60nm,金属Ni含量为5-30at.%;所述TiB2/Ni涂层中金属Ni层与TiB2陶瓷层的层数为20-100000层,每层金属Ni层的厚度为1-10nm,每层TiB2层的厚度为5-50nm。本发明的纳米层状结构的TiB2/Ni涂层表现出了良好的韧性和很高的硬度,这极大的扩大了此涂层的应用范围。同时本发明用于制备纳米层状结构TiB2/Ni涂层的磁控溅射双靶共沉积技术操作方便,无需后处理等工艺,制备周期短,成本低,可复现性好,可实现工业化大生产。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 层状 结构 二硼化钛 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种具有纳米层状结构的二硼化钛/镍涂层,其特征在于该TiB2/Ni涂层是由金属Ni和TiB2原位复合而成,具有多层金属Ni层与TiB2陶瓷层相互叠加而成的纳米层状结构,其中每层的厚度为6‑60nm,金属Ni含量为5‑30at.%。
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