[发明专利]可快速量产的直立式薄膜沉积装置与方法

摘要

本发明公开了一种可快速量产的直立式薄膜沉积装置与方法。通过将热处理与薄膜沉积所需的腔体分离，直立式基板于薄膜沉积腔体沉积薄膜时可以具有稳定的均温性且不易变形，以得到高质量的薄膜质量，可应用大面积且快速量产的制程中。

主权项

一种可快速量产的直立式薄膜沉积装置，其特征在于，包括：一热处理系统，具有一加热腔体、一冷却腔体及一切换装置，用于对至少两个直立式基板进行一加热制程或一冷却制程，切换装置具有一第一对准感应装置及一第二对准感应装置；一薄膜沉积腔体，设置于热处理系统的一侧，用以对直立式基板进行一薄膜沉积制程；以及一卸片装置，设置于薄膜沉积腔体相对于热处理系统的另一侧，具有一卸片推杆，用以将直立式基板由薄膜沉积腔体送出至热处理系统；其中，通过第一对准感应装置，热处理系统的切换装置可移动加热腔体以对准薄膜沉积腔体；通过第二对准感应装置，热处理系统的切换装置可移动冷却腔体以对准薄膜沉积腔体。