[发明专利]复合磨粒、其制备方法及用途无效
| 申请号： | 201110397862.9 | 申请日： | 2011-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102492233A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张莉娟 | 申请（专利权）人： | 张莉娟 |
| 主分类号： | C08L25/08 | 分类号： | C08L25/08;C08K3/22;C08F212/08;C08F212/36;C08F220/06;C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100830 北京市东三*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明通过一种较为简单的制备工艺，采用原位成核的方法得到了包覆均匀的聚甲基丙烯酸酯为核氧化铈为壳的复合磨粒。借助这种核壳结构有机/无机复合磨粒所独特的内柔外硬、非刚性的力学特性，预期在CMP过程中充分发挥其有机微球内核的弹性与CeO2壳层的表面硬度及高化学活性之间的协同作用，获得了高质量的超光滑抛光表面。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
一种复合磨粒，其特征在于：以聚甲基丙烯酸酯为核、以氧化铈为壳。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于张莉娟，未经张莉娟许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110397862.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：智能家用电器控制系统、方法、机顶盒和智能家庭网关
- 下一篇：车形泊位车库
