[发明专利]一种空间用齿轮沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜的中间过渡层制备方法无效
| 申请号： | 201110396601.5 | 申请日： | 2011-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN102424949A | 公开（公告）日： | 2012-04-25 |
| 发明（设计）人： | 郑军;周晖;万志华;桑瑞鹏 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人： | 杨志兵;付雷杰 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空间用齿轮沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜的中间过渡层制备方法，属于表面改性领域。所述方法步骤如下：(1)化学清洗齿轮；(2)加热及抽真空；(3)等离子体源轰击清洗齿轮；(4)沉积Cr毗邻层；(5)沉积Cr/WC成分梯度过渡层；(6)沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜。该方法显著提高了钨掺杂含氢类金刚石薄膜与空间齿轮间的结合强度，使其结合强度大于250mN，有效地解决了钨掺杂含氢类金刚石薄膜与空间齿轮结合状况差的技术难题，同时也可用于提高钨掺杂含氢类金刚石薄膜与空间精密齿轮、谐波减速器间的结合强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空间 齿轮 沉积 掺杂 含氢类 金刚石 薄膜 中间 过渡 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种空间用齿轮沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜的中间过渡层制备方法，其特征在于：所述方法步骤如下：(1)化学清洗，分别使用石油醚、丙酮、酒精对齿轮进行超声波清洗；(2)加热及抽真空，保证中间层沉积时处于设定的温度和真空范围内；(3)等离子体源轰击清洗，向真空室通入氩气，开启等离子体源对齿轮表面进行轰击清洗，去除齿轮表面的附着物；(4)沉积Cr毗邻层，开启Cr靶在齿轮表面沉积Cr层，使得Cr层与齿轮表面形成强的界面；(5)沉积Cr/WC成分梯度过渡层，同时开启Cr靶及WC靶，通过控制Cr靶功率的衰减速率及WC靶功率的增加速率形成Cr/WC成分梯度过渡层，使其与Cr层及钨掺杂含氢类金刚石薄膜间均形成强的界面；(6)沉积钨掺杂含氢类金刚石薄膜。
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