[发明专利]三维集成玻璃基光波导器件及其制造方法有效
| 申请号： | 201110384032.2 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102393549A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 高阳;孔祥君;吴传杰;焦俊涛;付勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市中兴新地通信器材有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/134;G02B6/136 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518129 广东省深圳市龙岗区坂*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了三维集成玻璃基光波导器件及其制造方法，其中三维集成玻璃基光波导器件包括玻璃基体和位于玻璃基体内部的至少两层光波导，所述两层光波导包括上层光波导和位于所述玻璃基体内部的下层光波导，所述上层光波导与所述下层光波导之间设置中间过渡光波导，所述中间过渡光波导由上层光波导逐渐延伸至所述下层光波导。本发明的三维集成玻璃基光波导器件在玻璃平台上制作的，可形成的三维波导具有比较高的可靠性，集成度高。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 集成 玻璃 波导 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
三维集成玻璃基光波导器件，其特征在于：包括玻璃基体和位于玻璃基体内部的至少两层光波导，所述两层光波导包括上层光波导和位于所述玻璃基体内部的下层光波导，所述上层光波导与所述下层光波导之间设置中间过渡光波导，所述中间过渡光波导由上层光波导逐渐延伸至所述下层光波导。
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