[发明专利]基板保持件、基板搬送装置以及基板处理系统

摘要

本发明提供一种基板保持件、基板搬送装置以及基板处理系统，即便在具有支撑基板的支撑部件的基板保持件与系统构成部件接触的情况下也能够尽可能地避免支撑部件发生损伤。基板保持件具有基部以及互相隔开间隔连接在所述基部上的多个支撑部件，在所述多个支撑部件上保持基板，该基板保持件的特征在于：所述支撑部件包括：主体；以及用于保护该主体的前端的能够装卸的保护部件，所述主体由CFRP构成，所述保护部件由金属或者杨氏模量为1MPa以上10GPa以下的高分子材料构成，所述金属为不锈钢或者铝，所述高分子材料为氟橡胶、聚四氟乙烯树脂或者尼龙树脂。

主权项

一种基板保持件，其具有基部以及互相隔开间隔连接在所述基部上的多个支撑部件，在所述多个支撑部件上保持基板，该基板保持件的特征在于：所述支撑部件包括：主体；以及用于保护该主体的前端的能够装卸的保护部件，所述主体由CFRP构成，所述保护部件由金属或者杨氏模量为1MPa以上10GPa以下的高分子材料构成，所述金属为不锈钢或者铝，所述高分子材料为氟橡胶、聚四氟乙烯树脂或者尼龙树脂。