[发明专利]一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极无效
| 申请号： | 201110360774.1 | 申请日： | 2011-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN102400232A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 袁志钟;王禄宝;张锦根 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B15/14 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 季萍 |
| 地址： | 212211 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极，包括电极、加热器、螺栓、电极外的石墨护套，所述的电极与石墨护套之间增设了一层电极保温层，由于电极与石墨护套之间固定设有电极保温层，增加了晶体炉内与电极之间的热阻，从而降低了功耗，其节能效果可达10kW以上，解决了晶体炉中加热器电极损耗能量过大的问题，且该设计思想可以用于多晶硅及蓝宝石等多种晶体生长的电极上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生长 石墨 复合 电极 | ||
【主权项】：
一种单晶硅生长炉用石墨/炭毡复合电极，包括电极及加热器，所述电极及所述加热器通过螺栓连接，所述电极外设有石墨护套，其特征在于，所述电极与所述石墨护套之间固定设有电极保温层。
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