[发明专利]一种全自动下传输系统有效
| 申请号： | 201110357788.8 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN103103495A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 雷震霖;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于PECVD的传输系统领域，具体地说是一种全自动下传输系统。包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材组成，所述电机与传感器设置在传输型材上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。本发明在由4个传输工位构成的下传输系统上传输碳板，避免了在8个传输工位构成的传输系统传输不稳等缺点，可以降低碎片率，并且由于减少了设备元件，可以降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 传输 系统 | ||
【主权项】：
一种全自动下传输系统，包括装载台、升降传输、下传输系统、卸载台，其特征在于：所述下传输系统包括4个传输工位、固态继电器及PLC，其中每个传输工位均由电机、传感器以及传输型材(2)组成，所述电机与传感器设置在传输型材(2)上；所述PLC与传感器及固态继电器电连接，固态继电器与所述电机电连接。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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