[发明专利]一种薄膜电池双结构绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法

摘要

本发明涉及一种薄膜电池双结构绒面透明导电氧化物薄膜制备方法，特别是适合薄膜太阳能电池应用的双结构绒面透明电极，属于透明导电氧化物薄膜技术领域。技术方案是：本发明提出首先对玻璃衬底进行处理获得绒面结构（绒面尺寸大小可调，例如较大尺寸的绒面），然后沉积TCO薄膜，此时薄膜具备与玻璃衬底相近的绒面结构，再通过湿法刻蚀获得另外一种尺寸的绒面织构（绒面尺寸大小可调，例如较小尺寸的绒面），从而获得双结构的绒面TCO薄膜，拓展TCO薄膜对不同波段光的散射能力，拓宽电池对太阳光谱的利用，提高薄膜电池的转换效率。

主权项

一种薄膜电池双结构绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于包含如下工艺步骤：①利用等离子体刻蚀的方式对玻璃基片进行前处理轰击，在玻璃表面形成绒面，通过改变等离子体的气体电离电压、离子聚焦电压、等离子体束流以及等离子体轰击真空度，在玻璃衬底上刻蚀出绒面织构；②在绒面玻璃表面采用镀膜技术制备TCO透明导电薄膜，通过改变TCO沉积参数来获得不同结构及电学性能的TCO薄膜，此时TCO薄膜具有与玻璃衬底相似的绒面织构；③对玻璃表面的TCO薄膜进行湿法刻蚀，通过改变刻蚀溶液的种类、浓度、温度、刻蚀时间、TCO玻璃在溶液中运动的速率，获得相对应的绒面织构，该TCO薄膜表面刻蚀产生的绒面织构与玻璃衬底的绒面织构的特征尺寸范围不同时，使整个TCO薄膜具有双结构的绒面织构。