[发明专利]超声波雾化型碱性抛光液无效
| 申请号： | 201110354686.0 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN102382576A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 李庆忠;翟靖 | 申请（专利权）人： | 江南大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214122 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种超声波雾化型碱性抛光液，其制备方法如下：（1）取质量份数为8~15份的白碳黑，加入8倍白碳黑质量的去离子水，充分搅拌后使之成为粥状，不产生沉淀；（2）加入pH值调节剂稀释液，边加入边搅拌，使其pH值达到9.5；（3）加入1~5份的表面活性剂，持续搅拌，使之充分溶解；（4）加入70~135份的硅溶胶，搅拌至溶液澄清无絮状物，加入pH值调节剂稀释液，不断搅拌，使溶液pH值为10；（5）加入5~10份的氧化剂，再次加入pH值调节剂稀释液，调整pH值达到10~12；（6）加入去离子水，使整个体系质量份数达到300份，即得本超声波雾化型碱性抛光液。本发明在进行硅片抛光时，耗损量不足10ml/min，具有良好的抛光效果。 | ||
| 搜索关键词： | 超声波 雾化 碱性 抛光 | ||
【主权项】：
一种超声波雾化型碱性抛光液，其特征在于其制备方法如下：（1）取质量份数为8~15份的白碳黑，加入8倍白碳黑质量的去离子水，充分搅拌后使之成为粥状，不产生沉淀；（2）向步骤（1）所得产物中加入pH值调节剂稀释液，边加入边搅拌，使其pH值达到9.5；（3）向步骤（2）所得产物中加入1~5份的表面活性剂，持续搅拌，使之充分溶解；（4）向步骤（3）所得产物中加入70~135份的硅溶胶，搅拌至溶液澄清无絮状物，加入pH值调节剂稀释液，不断搅拌，使溶液pH值为10；（5）向步骤（4）所得产物中加入5~10份的氧化剂，再次加入pH值调节剂稀释液，调整pH值达到10~12；（6）向步骤（5）所得产物中加入去离子水，使整个体系质量份数达到300份，即得本超声波雾化型碱性抛光液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江南大学，未经江南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110354686.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：应用于气流床气化炉的急冷器
- 下一篇：一种塑木型材代替木质材料建筑亭子的方法
