[发明专利]电子显微镜的物镜消像散器有效
| 申请号： | 201110349943.1 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102509689A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 董全林;张春熹;姚骏恩;南国;高阳;张亚彬;吴国增;刘雪萍;陈川;莫西;陈楠;范运强 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 北京永创新实专利事务所 11121 | 代理人： | 周长琪 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种电子显微镜的物镜消像散器，是用于增强物镜线圈磁感应强度的装置。所述装置主要包括电磁消像散器组件、保护套、屏蔽磁套、隔圈组件、接线螺圈、螺套、螺圈和固定光栏，电磁消像散器组件又包括线圈支架和线圈框，线圈框上缠绕有消像散线圈，接线螺圈螺纹套接在线圈支架上，保护套螺纹套接在线圈框外，固定光栏通过保护套伸入线圈支架的中心通孔，屏蔽磁套与隔圈组件固定一起，隔圈组件通过螺套和螺圈固定在线圈支架上。本发明采用电磁式，结构简单、不易污染、使用方便，且将消像散所产生的磁路限制在一个很小的范围内，增强了消像散的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 物镜 消像散器 | ||
【主权项】：
一种电子显微镜的物镜消像散器，其特征在于，该物镜消像散器包括同轴心的如下部件：屏蔽磁套(1)、螺套(2)、隔圈组件(3)、螺圈(4)、接线螺圈(5)、电磁消像散器组件(6)、保护套(7)、第一固定光栏(8)和第二固定光栏(9)；所述的电磁消像散器组件(6)包括线圈支架(13)和线圈框(14)，在线圈支架(13)靠近中间位置的周向上设置有凸台(15)用于限位，线圈框(14)固定在线圈支架(13)的右端口，且在线圈框(14)上缠绕有消像散线圈；螺圈(4)和接线螺圈(5)都采用螺纹套接在线圈支架(13)上，接线螺圈(5)位于凸台(15)的左侧，螺圈(4)位于接线螺圈(5)的左侧，保护套(7)罩在线圈框(14)的外部，用于保护缠绕在线圈框(14)上的消像散线圈，保护套(7)左端口螺纹连接在接线螺圈(5)上，第一固定光栏(8)的左端通过保护套(7)右端的开口伸入线圈支架(13)的中心通孔中，且第一固定光栏(8)的右端螺纹连接第二固定光栏(9)，隔圈组件(3)的固定圈(11)套在线圈支架(13)上，位于螺圈(4)的左侧，螺套(2)的右端螺纹连接在线圈支架(13)的左端，通过将螺套(2)与螺圈(4)旋转拧紧，将固定圈(11)固定在线圈支架(13)上，从而将隔圈组件(3)与电磁消像散器组件(6)固定一起，隔圈组件(3)的左端通过螺纹连接与屏蔽磁套(1)固定一起，所述的屏蔽磁套(1)将消像散线圈所产生的磁路屏蔽在内部，所述的隔圈组件(3)将物镜所产生的磁路与电磁消像散器组件(6)所产生的磁路隔开。
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