[发明专利]硅烷尾气处理装置以及方法有效
| 申请号： | 201110347328.7 | 申请日： | 2011-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN103090399A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 吴啸;冯金良;梁浩;范建超 | 申请（专利权）人： | 无锡华润华晶微电子有限公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 臧霁晨;高为 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市国*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅烷尾气处理装置及其处理方法。该硅烷尾气处理装置具备燃烧筒，所述燃烧筒具备：进气口，用于通入以硅烷气体为主要成分的硅烷尾气；第一反应气体通入口，用于通入第一反应气体；第二反应气体通入口，用于通入第二反应气体；排气口，用于排出所述硅烷气体与所述第一反应气体和第二反应气体反应之后的气体，其中，上述第一反应气体通入口和上述第二反应气体通入口分开设置，并且上述第一反应气体通入口设置在比上述第二反应气体通入口更靠近进气口的位置。另外，还设置有气体流速降低装置。利用本发明的硅烷尾气处理装置及其方法能够对硅烷尾气进行完全地处理，提高工艺的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 尾气 处理 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种硅烷尾气处理装置，具备燃烧筒，其特征在于，所述燃烧筒具备：进气口，用于通入以硅烷气体为主要成分的硅烷尾气，第一反应气体通入口，用于通入第一反应气体，第二反应气体通入口，用于通入第二反应气体，排气口，用于排出所述硅烷气体与所述第一反应气体和第二反应气体反应之后的气体，其中，上述第一反应气体通入口和上述第二反应气体通入口分开设置，并且上述第一反应气体通入口设置在比上述第二反应气体通入口更靠近进气口的位置。
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