[发明专利]用于封装IGBT模块的直接键合铜基板的贴装夹具有效
申请号: | 201110347313.0 | 申请日: | 2011-10-28 |
公开(公告)号: | CN103094127B | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 郑志荣;孙宏伟;朱煜珂 | 申请(专利权)人: | 无锡华润安盛科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人: | 唐立,王忠忠 |
地址: | 214028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种用于封装IGBT模块的直接键合铜基板的贴装夹具,属于IGBT(绝缘栅双极型晶体管)模块的封装技术领域。该贴装夹具包括载板和盖板,所述载板上设置有多个用于承载所述直接键合铜基板的承载腔,所述盖板覆盖于在所述载板上以固定所述直接键合铜基板于所述承载腔中,并且,在所述盖板上设置多个的孔以对应暴露所述承载腔中的直接键合铜基板的铜键合面。该贴装夹具大大提供DBC基板的贴装效率,并且贴装作业的稳定性好。 | ||
搜索关键词: | 用于 封装 igbt 模块 直接 键合铜基板 夹具 | ||
【主权项】:
一种使用贴装夹具封装IGBT模块至直接键合铜基板上的方法,其特征在于,所述贴装夹具包括载板和盖板,所述载板上设置有多个用于承载所述直接键合铜基板的承载腔,所述盖板覆盖于所述载板上以固定所述直接键合铜基板于所述承载腔中,并且,在所述盖板上设置多个的孔;其中,所述直接键合铜基板包括陶瓷基板、陶瓷基板的正面的第一铜层以及陶瓷基板的背面的第二铜层,所述陶瓷基板的尺寸大于所述第一铜层的尺寸;所述盖板的孔的尺寸大于或等于所述第一铜层的尺寸且小于所述陶瓷基板的尺寸,所述盖板的厚度等于所述第一铜层的厚度;所述承载腔的深度等于所述陶瓷基板与所述第二铜层的厚度之和;其中,所述承载腔的边沿设置有多个提取腔;所述直接键合铜基板和所述承载腔为方形,四个所述提取腔被设置在每个所述承载腔的边角处;其中,所述方法包括步骤:将多个所述直接键合铜基板对应置于所述载板上的承载腔中,将所述盖板覆盖于所述载板上并将多个所述直接键合铜基板固定于所述承载腔中,其中所述承载腔中的多个直接键合铜基板的铜键合面被所述盖板上设置的多个孔暴露;以及同批次地通过表面贴装设备贴装多个IGBT模块至多个所述直接键合铜基板上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造