[发明专利]一种宽带束均匀性控制的方法与装置

摘要

本发明公开了一种宽带束均匀性控制的装置，主要包括：工控机(1)，SPI适配器(2)，PMAC闭环测控板(3)，剂量控制器(4)，直线电机(5)、七个采样法拉第杯(6)，闭环法拉第杯1(7)，闭环法拉第杯2(8)，移动法拉第电机(9)和移动法拉第杯(10)构成。其特征在于，其中PMAC闭环测控板(3)插入工控机的ISA插槽中，剂量控制器(4)通过SPI适配器(2)与工控机(2)进行通讯，用于发送和采集数据。本发明能够自动实现宽带束离子注入剂量的精确检测、自动实现注入离子分布的均匀性和剂量的准确性控制。

主权项

一种宽带束均匀性控制的装置，主要包括：工控机(1)，SPI适配器(2)，PMAC闭环测控板(3)，剂量控制器(4)，直线电机(5)，七个采样法拉第杯(6)，闭环法拉第杯1(7)，闭环法拉第杯2(8)，移动法拉第电机(9)和移动法拉第杯(10)，其相互连结情况见图1。