[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供激光加工装置，其具有光传送单元，该光传送单元能在不用聚光透镜进行会聚的情况下将从激光振荡器振荡出的激光线传送到聚光器。将构成激光加工装置的脉冲激光线振荡器振荡出的脉冲激光线引导至聚光器的光传送单元具有：波段扩展单元，其对脉冲激光线振荡器振荡出的脉冲激光线的波段进行扩展；脉冲时间宽度扩展单元，其对波段扩展后的脉冲激光线的脉冲时间宽度进行扩展；聚光透镜，其对脉冲时间宽度扩展后的脉冲激光线进行会聚；光纤，其入射由聚光透镜会聚后的脉冲激光线而进行传送；修正透镜，其将由光纤传送的脉冲激光线修正为平行光；脉冲时间宽度压缩单元，其将被修正为平行光的脉冲激光线压缩为原来的脉冲时间宽度而传送到聚光器。

主权项

一种激光加工装置，该激光加工装置具有：保持被加工物的卡盘台；以及对保持在该卡盘台上的被加工物照射激光线的脉冲激光线照射单元，该脉冲激光线照射单元具有：脉冲激光线振荡器，其振荡出脉冲激光线；聚光器，其对该脉冲激光线振荡器振荡出的脉冲激光线进行会聚而照射至保持在卡盘台上的被加工物；以及光传送单元，其将该脉冲激光线振荡器振荡出的脉冲激光线引导至聚光器，该激光加工装置的特征在于，该光传送单元具有：波段扩展单元，其对该脉冲激光线振荡器振荡出的脉冲激光线的波段进行扩展；脉冲时间宽度扩展单元，其对由该波段扩展单元扩展了波段后的脉冲激光线的脉冲时间宽度进行扩展；聚光透镜，其对由该脉冲时间宽度扩展单元扩展了脉冲时间宽度后的脉冲激光线进行会聚；光纤，其入射由该聚光透镜会聚后的脉冲激光线而进行传送；修正透镜，其将由该光纤传送的脉冲激光线修正为平行光；以及脉冲时间宽度压缩单元，其将被该修正透镜修正为平行光的脉冲激光线压缩为原来的脉冲时间宽度而传送到该聚光器。