[发明专利]使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法及装置无效
| 申请号： | 201110338856.6 | 申请日： | 2011-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN102507020A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 李建欣;李博;陈磊;朱日宏;何勇;沈华;郭仁慧;乌兰图雅;李金鹏 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱显国 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法及装置，涉及光干涉计量测试领域，方法步骤为：首先，在泰曼式干涉测试光路中得到一对偏振方向正交的参考光与测试光；其次，使用微透镜阵列，利用波前分割的方法进行移相，光干涉信号被探测器接收，最后，对探测器得到的数据进行重新排列得到四幅移相干涉图，利用通用的四步移相算法即可恢复被测相位；本发明得到的四幅移相干涉图相对空间位置关系已知且唯一，不会产生位置匹配误差，且成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 透镜 阵列 同步 相干 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种使用微透镜阵列的同步移相干涉测试方法，其特征在于，步骤如下：步骤一：在泰曼式干涉测试光路中得到一对偏振方向正交的参考光与测试光；步骤二：利用波前分割的方法进行移相，即，使步骤一中得到的一对偏振方向正交的参考光与测试光通过一个1/4波片成为一对正交的圆偏振光；对这一对正交的圆偏振光的波面进行分割，在每一个子波面形成的发散光路都通过一个四象限偏振片组引入不同的移相量，然后由一个主透镜对发散光路进行会聚，最后被探测器接收；步骤三：对探测器得到的数据进行重新排列得到四幅移相干涉图，再利用四步移相算法恢复被测相位。
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