[发明专利]多级等能量分光系统

摘要

本发明公开了一种多级等能量分光系统，包括激光头、第一扩束系统、全反系统、分光系统、第二扩束系统及至少两光阑，光阑设置于一条直线上，第二扩束系统与光阑一一对应设置，分光系统、全反系统相间隔地与第二扩束系统相对应设置，且全反系统与分光系统相对应，第一扩束系统的出光端与分光系统相对应，入光端与激光头相对应，激光头发出的激光经第一扩束系统中心扩束后进入分光系统，经分光系统分光及全反系统的反射后，每一路激光都进入第二扩束系统再次扩束，再经光阑出射，二次扩束使每一路激光的能量和光斑都大小一致，分光误差小，提高产品质量；采用一个激光头进行多次分光，调整快速简单、且精确稳定，同时也使多级等能量分光系统的结构简单、布局紧凑合理。

主权项

一种多级等能量分光系统，适用于激光刻膜机中对激光头发出的激光进行分光，其特征在于，包括：至少两光阑，所述光阑设置于一条直线上；第二扩束系统，所述第二扩束系统与所述光阑一一对应设置；分光系统，所述分光系统间隔地与所述第二扩束系统相对应设置；全反系统，所述全反系统与其余的所述第二扩束系统相对应设置，且所述全反系统与所述分光系统相对应设置；第一扩束系统，所述第一扩束系统的出光端与所述分光系统相对应；激光头，所述激光头的出射端与所述第一扩束系统的入光端相对应；所述激光头发出的激光经所述第一扩束系统扩束后进入所述分光系统，所述激光经所述分光系统分光后，一部分进入与之相对应的第二扩束系统，另一部分经所述全反系统后进入与所述全反射系统相对应的第二扩束系统。