[发明专利]MEMS动能转化有效
| 申请号： | 201110329759.0 | 申请日： | 2011-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN102556933A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 钟添淦;林宗贤;黄耀德;朱家骅;洪嘉明;戴文川;杨长沂 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;高雪琴 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供了微器件。器件包括微电子机械系统(MEMS)可移动结构，位于MEMS可移动结构上的多个金属环，以及位于MEMS可移动结构上的压电元件。前部覆盖晶圆和背部覆盖晶圆与MEMS结构接合，前部覆盖晶圆和背部覆盖晶圆封装MEMS可移动结构，多个金属环，和压电元件。器件还包括设置在多个金属环上方的前部覆盖晶圆上的磁体。 | ||
| 搜索关键词： | mems 动能 转化 | ||
【主权项】：
一种微器件，包括：微电子机械系统(MEMS)结构，所述微电子机械系统结构包括MEMS可移动结构；位于所述MEMS可移动结构上方的多个金属环；位于所述MEMS可移动结构上方的压电元件；与所述MEMS结构接合的前部覆盖晶圆和背部覆盖晶圆，所述前部覆盖晶圆和所述背部覆盖晶圆封装所述MEMS可移动结构、所述多个金属环、和所述压电元件；以及设置在所述多个金属环上方的所述前部覆盖晶圆上的磁体。
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