[发明专利]一种应用于平板PECVD设备的石英管及其安装方法

摘要

本发明实施例公开了一种应用于平板PECVD设备的石英管安装方法，包括：在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于石英玻璃管腔体内；在石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；使得石英管玻璃管两端的零件对称设置；铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；使用酒精擦洗石英玻璃管；将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中，该方法使得石英管工作中受热膨胀均匀化，拆卸更方便。本发明实施例还提供了一种应用于平板PECVD设备的石英管。

主权项

一种应用于平板PECVD设备的石英管的安装方法，其特征在于，包括：在石英玻璃管外缠绕一层耐高温胶带；将铜质内导轴设置于所述石英玻璃管腔体内；在所述石英玻璃管的两端分别按次序装配零件；所述零件依次包括卡口锁定式机械装置、铝制环型止推轴、聚四氟乙烯环、第一聚氯丁橡胶密封圈、聚四氟乙烯环型止推轴、第二聚氯丁橡胶密封圈以及聚四氟乙烯托盘；使得所述石英管玻璃管两端的零件对称设置；所述铜质内导轴穿在石英玻璃管两端的聚四氟乙烯托盘的中间小孔上；使用酒精擦洗所述石英玻璃管；将装配好零件的石英玻璃管的两端分别推进与其两端装配零件相匹配的铝帽中。