[发明专利]一种高精度调整装置及高精度调整方法

摘要

本发明提供一种高精度调整装置，通过高精度的调整连接支架部件中三个导杆螺母的三个端面的平面度，从而可实现对待调整装置进行微米级的调整。该高精度调整装置的定位精度可调，调整装置可以通过调整获得微米级定位精度，且调整方便，快速。同时待调整装置的安装基准和调整基准之间的距离可以很大，当待调整装置的设计、加工、安装有所变化时本发明的高精度调整装置更能随待调整装置作相应的调整。本发明还提供一种高精度调整方法，采用三点确定一个平面的公理来测量一个基准相对于另一个原始基准的平行度，同时采用高精度装置作为原始基准对待调整装置进行测校。

主权项

一种高精度调整装置，包括：底板、调平台、方镜、连接支架部件；所述调平台固定于所述底板之上；所述方镜安装于所述调平台上，其特征在于，所述底板上固定有两个或两个以上所述连接支架部件；所述连接支架部件支撑待调整装置并调整所述被测装置的高度。