[发明专利]用于薄膜太阳能电池的激光划线方法及其设备

摘要

本发明涉及一种激光划线技术,尤其涉及用于薄膜太阳能电池生产的激光划线方法及其设备。该方法包括两道划线P1和P2，P1划线使用激光对透明导电氧化物膜（TCO）层进行划线，P2划线使用激光对半导体膜层进行划线，而两道划线P1和P2均在半导体镀膜之后和背电极镀膜之前的时间内进行，P1划线穿越半导体膜层和透明导电氧化物膜层形成第一沟槽；P2划线穿越半导体膜层形成与第一沟槽相平行的第二沟槽。用于薄膜太阳能电池的划线设备，包括两个或两组激光头，一个或一组用于P1划线，另一个或一组用于P2划线。本发明生产工艺简单、成本低、能优化电池性能和长期稳定性。

主权项

用于薄膜太阳能电池的激光划线方法，包括两道划线P1和P2，P1划线使用激光对透明导电氧化物膜层进行划线，P2划线使用激光对半导体膜层进行划线，其特征在于：所述两道划线P1和P2均在半导体镀膜之后和背电极镀膜之前的时间内进行，所述P1划线穿越所述半导体膜层和所述透明导电氧化物膜层形成第一沟槽；所述P2划线穿越所述半导体膜层形成与所述第一沟槽相平行的第二沟槽。