[发明专利]一种射频阻抗匹配器在审
| 申请号： | 201110301153.6 | 申请日： | 2011-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN103025041A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 孙小孟;李勇滔;赵章琰;李英杰;秦威;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种射频阻抗匹配器，属于半导体制造技术领域。所述射频阻抗匹配器通过传输线连接在射频电源与等离子体腔室之间，射频阻抗匹配器包括：信号检测模块，用于检测射频电源的入射功率和传输线的反射功率，并输出检测结果；控制模块，用于接收信号检测模块输出的检测结果，并按照预设的阻抗匹配控制算法进行计算，生成控制信号，发送控制信号；阻抗匹配执行模块，用于接收控制模块发送的控制信号，并根据控制信号调整阻抗匹配网络，实现等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。本发明提供的射频阻抗匹配器可以实时跟踪等离子体腔室阻抗变化，并自动调节阻抗匹配网络实现快速、准确地自动阻抗匹配。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 阻抗 配器 | ||
【主权项】：
一种射频阻抗匹配器，所述射频阻抗匹配器通过传输线连接在射频电源与等离子体腔室之间，其特征在于，所述射频阻抗匹配器包括：信号检测模块，用于检测所述射频电源的入射功率和所述传输线的反射功率，并输出检测结果；控制模块，用于接收所述信号检测模块输出的检测结果，并按照预设的阻抗匹配控制算法进行计算，生成控制信号，发送所述控制信号；阻抗匹配执行模块，用于接收所述控制模块发送的控制信号，并根据所述控制信号调整阻抗匹配网络，实现所述等离子体腔室与传输线的阻抗匹配。
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