[发明专利]一种铝钛硅合金靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201110298811.0 | 申请日： | 2011-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102321833A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 余鹏 | 申请（专利权）人： | 余鹏 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C22C14/00;C22C30/00;C23C14/06 |
| 代理公司： | 长沙星耀专利事务所 43205 | 代理人： | 宁星耀;舒欣 |
| 地址： | 410008 湖南省长沙市开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种铝钛硅合金靶材及其制备方法，该铝钛硅合金靶材由以下质量百分比的原料制成：铝5%－90%，钛5%－90%，硅1%－30%。本发明还包括铝钛硅合金靶材的热压烧结制备方法。本发明之铝钛硅合金靶材及其热压烧结制备方法，合金成分均匀，合金靶材相对密度高，工艺流程短，生产成本低，利于推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铝钛硅 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种铝钛硅合金靶材，其特征在于，由以下质量百分比的原料制成：铝粉5%－90%，钛粉5%－90%，硅粉1%－30%。
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