[发明专利]双上炉体连续加料硅单晶炉及其使用方法无效
| 申请号： | 201110297917.9 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN102352529A | 公开（公告）日： | 2012-02-15 |
| 发明（设计）人： | 杨永录;葛亮;赖章田;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 缪利明 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明双上炉体连续加料硅单晶炉，包括：主机架；下炉体，所述下炉体设置在所述主机架上；所述双上炉体连续加料硅单晶炉还包括双上炉体组件，所述双上炉体组件包括两个分立设置的左上炉体及右上炉体。本发明双上炉体连续加料硅单晶炉可以实现在不更换石英坩埚及不开炉的情况下进行二次连续加料及硅单晶棒的拉制，从而从节能、节约坩埚、及节约时间上降低硅单晶棒的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 双上炉体 连续 加料 硅单晶炉 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
双上炉体连续加料硅单晶炉，包括：主机架；下炉体，所述下炉体设置在所述主机架上；其特征在于，所述双上炉体连续加料硅单晶炉还包括双上炉体组件，所述双上炉体组件包括两个分立设置的左上炉体及右上炉体。
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