[发明专利]一种利用微颗粒制备双结构绒面透明电极的方法

摘要

本发明涉及一种利用微颗粒制备双结构绒面透明电极的方法，属于透明导电氧化物薄膜技术领域。技术方案是首先在玻璃衬底上涂覆一层微颗粒，再采用薄膜沉积技术制备一定厚度的TCO薄膜，薄膜表面呈现出与涂覆颗粒相同的凹凸起伏的绒面结构，其特征尺寸与所覆盖的颗粒尺寸相对应；利用湿法刻蚀的方法对TCO薄膜表面进行一定程度的刻蚀。可以通过改变刻蚀工艺参数来获得具有一定形状的绒面织构，其特征尺寸较微颗粒特征尺寸小，使整个透明电极具有双结构的绒面织构；或在涂覆的颗粒表面直接生长具有纹理结构的TCO薄膜，使得整个透明电极具有双结构的绒面织构，应用于薄膜太阳能电池，对可见光和近红外光均能实现有效的光散射。

主权项

一种利用微颗粒制备双结构绒面透明电极的方法，其特征在于包含如下工艺步骤：①在玻璃衬底（1）上涂覆一层微颗粒（8）；②采用薄膜沉积技术制备TCO薄膜（9），在将微颗粒完全覆盖的同时，薄膜表面呈现与涂覆微颗粒相同的凹凸起伏的绒面结构，其特征尺寸与所覆盖的微颗粒尺寸相对应；③利用湿法刻蚀的方法对其表面进行刻蚀，通过改变刻蚀工艺参数来获得绒面织构，其特征尺寸较微颗粒特征尺寸小，使整个透明电极具有双结构的绒面织构；或在涂覆的颗粒表面直接生长具有纹理结构的TCO薄膜，使得整个透明电极具有双结构的绒面织构，应用于薄膜太阳能电池，对可见光和近红外光均能实现有效的光散射。