[发明专利]遮蔽装置、具有其的PVD设备及PVD设备的控制方法有效
| 申请号： | 201110294891.2 | 申请日： | 2011-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN103031514A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 窦润江;夏威 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张大威 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出一种遮蔽装置、具有其的PVD设备及PVD设备的控制方法，包括：托板，所述托板包括连接部和承载部，所述承载部呈圆环状，所述圆环状的承载部的中心孔包括上孔部和下孔部，其中所述上孔部的直径大于所述下孔部的直径以便所述中心孔形成台阶状；转轴，所述转轴与所述托板的连接部相连以带动所述托板转动；和遮蔽盘，所述遮蔽盘放置在所述上孔部内。通过本发明实施例的遮蔽装置，在衬底支承升起时无需将托板返回到空闲位置，因此提高了整机产能。 | ||
| 搜索关键词： | 遮蔽 装置 具有 pvd 设备 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种遮蔽装置，其特征在于，包括：托板，所述托板包括连接部和承载部，所述承载部呈圆环状，所述圆环状的承载部的中心孔包括上孔部和下孔部，其中所述上孔部的直径大于所述下孔部的直径以便所述中心孔形成台阶状；转轴，所述转轴与所述托板的连接部相连以带动所述托板转动；和遮蔽盘，所述遮蔽盘放置在所述上孔部内。
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