[发明专利]产生中性粒子束的装置及方法有效
| 申请号： | 201110288064.2 | 申请日： | 2011-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN102290314A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | 席峰;李勇滔;李楠;张庆钊;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H3/00 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种产生中性粒子束的装置，包括反应腔体、放置芯片的载片台、等离子源、上网板，所述上网板、等离子源和所述载片台设置在所述反应腔体内部，所述上网板设置在所述等离子源上方，所述等离子源和所述载片台之间依次设置有中网板、绝缘板及下网板；所述上网板和所述下网板分别连接一直流偏压，所述中网板接地。本发明还公开一种产生中性粒子束的方法。根据提供的产生中性粒子束的装置及方法，使正、负离子等不同粒子都能实现中性化提高了离子的中性化效率，保证了混合气体中的不同种离子都会产生相应的刻蚀作用，适应了不同气体组合，以满足不同刻蚀工艺的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 中性 粒子束 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种产生中性粒子束的装置，包括反应腔体、放置芯片的载片台、等离子源、上网板，所述上网板、等离子源和所述载片台设置在所述反应腔体内部，其特征在于：所述上网板设置在所述等离子源上方，所述等离子源和所述载片台之间依次设置有中网板、绝缘板及下网板；所述上网板和所述下网板分别连接一直流偏压，所述中网板接地。
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