[发明专利]在纳米孔表面和孔内制备纳米间隙电极的方法有效
| 申请号： | 201110285898.8 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN102445480A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 叶晓峰;刘丽萍;吴宏文;孔婧琳;陆祖宏;刘全俊;易红 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30;B82Y40/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 周静 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及在纳米孔表面和孔内制备纳米间隙电极的方法，可以实现二维双通道同时检测分子过孔的信号变化，提高纳米孔测序的精确度。所述在纳米孔表面制备纳米间隙电极的方法是：在基材表面形成线宽度为微米级金属线，将金属线刻蚀成线宽度为纳米级，然后在对应于纳米级线宽的金属线位置，在基材上刻蚀出贯穿的纳米孔，同时蚀断金属线，从而直接在纳米孔孔口形成表面纳米间隙电极。作为本发明的改进，在基材表面形成线宽度为微米级金属线，将金属线刻蚀至线宽度为10-50nm，然后在金属线上刻蚀，形成相对的电极，并在基材上对应于纳米间隙的位置刻蚀出贯穿的纳米孔，最后使金属线向纳米孔边缘生长，从而在纳米孔孔口形成表面纳米间隙电极。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 表面 制备 间隙 电极 方法 | ||
【主权项】：
一种在纳米孔表面制备纳米间隙电极的方法，其特征在于，在基材表面形成线宽度为微米级金属线，将金属线刻蚀成线宽度为纳米级，然后在对应于纳米级线宽的金属线位置，在基材上刻蚀出贯穿的纳米孔，同时蚀断金属线，从而直接在纳米孔孔口形成表面纳米间隙电极。
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