[发明专利]精密型混合稀土抛光粉及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201110285482.6 申请日: 2011-09-23
公开(公告)号: CN103013444A 公开(公告)日: 2013-04-03
发明(设计)人: 杨筱琼;赵月昌;郝祥;赵秀娟;李冉;李雪云 申请(专利权)人: 上海华明高纳稀土新材料有限公司
主分类号: C09K3/14 分类号: C09K3/14;C09G1/02
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 何新平
地址: 201613*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明的目的在于提供一种精密型混合稀土抛光粉及其制备方法,所述混合稀土抛光粉是由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体;与现在的产品相比,通过球磨粉碎及均化助剂的添加使得碳酸稀土前躯体的晶粒尺寸均匀,氟化反应均匀完全,不产生影响抛光精度及速率的游离态氟离子及氟化物,结晶度高;产品抛光粉的耐磨性好,抛光速率快,抛光精度容易控制;产品的均一性好,生产效率高,成本低、无污染,适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密器件的表面抛光加工,实现本发明的目的。
搜索关键词: 精密 混合 稀土 抛光 及其 制备 方法
【主权项】:
一种精密型混合稀土抛光粉,其特征在于,所述混合稀土抛光粉是由晶型为氟氧化物稀土与立方相稀土氧化物组成的均一固溶体。
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