[发明专利]离子注入机多片晶圆定位系统及其定位方法无效
| 申请号： | 201110274285.4 | 申请日： | 2011-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN102324366A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 付成龙;万超;陈恳;周于;杨开明;朱煜;伍三忠 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明为一种离子注入机多片晶圆定位系统，包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机、编码器、同步带、晶圆托盘、光源、传感器以及支架；电机和编码器之间通过同步带连接，晶圆托盘由电机带动旋转，同时编码器通过同步带测量晶圆托盘转动的角度，晶圆置于晶圆托盘上；晶圆托盘转动时光源发出光信号，传感器扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。本发明结构紧凑能同时定位多片晶圆，在晶圆定位的同时可在该系统中取放其它晶圆，提高了离子注入机晶圆定位的整体效率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 机多片晶圆 定位 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种离子注入机多片晶圆定位系统，其特征在于，该系统包括多层独立的晶圆定位单元，每层晶圆定位单元包括：电机(1)、编码器(2)、同步带(3)、晶圆托盘(4)、光源(5)、传感器(6)以及支架(7)；电机(1)和编码器(2)之间通过同步带(3)连接，晶圆托盘(4)由电机(1)带动旋转，同时编码器(2)通过同步带(3)测量晶圆托盘(4)转动的角度，晶圆置于晶圆托盘(4)上；晶圆托盘(4)转动时光源(5)发出光信号，传感器(6)扫描晶圆边缘并将检测结果传给主控计算机。
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