[发明专利]一种太阳能级多晶硅脱磷的提纯方法无效

专利信息
申请号: 201110268669.5 申请日: 2011-09-13
公开(公告)号: CN102424389A 公开(公告)日: 2012-04-25
发明(设计)人: 孔繁敏;王新元;安利明;孙湘航;司继良;陈建玉 申请(专利权)人: 山西纳克太阳能科技有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 太原市科瑞达专利代理有限公司 14101 代理人: 卢茂春
地址: 030032 山西省*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 一种太阳能级多晶硅脱磷的提纯方法,采用高真空感应炉,金属硅原料为颗粒状或块料,金属硅原料的纯度为99%,其操作步骤是:(1)开启高真空感应炉的真空系统,使炉室内达到高真空状态;(2)将金属硅原料装入位于高真空感应炉内的石墨坩埚中,开启高频感应电源将金属硅熔化;(3)待第(2)步骤金属硅原料熔化后使金属硅液温度保持在1560~1600℃,需要保持多长时间 开启金属硅原料连续送料装置,投入剩余金属硅原料至炉内的石墨坩埚中进行连续脱磷;(4)脱磷后的金属硅熔体容积达到坩埚容积的2/3~3/4时,将金属硅熔体倾入同炉室内的另一坩埚中,自然冷却便得到脱磷多晶硅。本发明的生产成本低。
搜索关键词: 一种 太阳 能级 多晶 硅脱磷 提纯 方法
【主权项】:
一种太阳能级多晶硅脱磷的提纯方法,其特征是提纯设备采用高真空感应炉,粒径是5~100mm的金属硅为原料,金属硅原料的纯度为99%,即2N以上,其中B含量为5ppm,P含量为25ppm;其操作步骤是:(1)开启高真空感应炉的真空系统,依次开启前级机械泵及扩散泵使炉室内达到高真空状态;所述的高真空是指控制在1.2×10-3~2.4×10-3Pa;(2)将占石墨坩埚容量1/10的金属硅原料装入位于高真空感应炉内的石墨坩埚中,开启高频感应电源将金属硅熔化;所述的高频感应电源功率为200~280KW;(3)待第(2)步骤金属硅原料熔化后使金属硅液温度保持在1560~1600℃,需要保持12到20小时,开启金属硅原料连续送料装置,投入剩余金属硅原料至炉内的石墨坩埚中进行连续脱磷;(4)脱磷后的金属硅熔体容积达到坩埚容积的2/3~3/4时,将金属硅熔体倾入同炉室内的另一坩埚中,自然冷却5小时,便得到脱磷多晶硅。
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