[发明专利]一种多悬臂梁加速度传感器无效
| 申请号： | 201110253586.9 | 申请日： | 2011-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN102401841A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 汪祖民;方澍;郭群英;徐栋;黄斌 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;B81B3/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种多悬臂梁加速度传感器，包括质量块，质量块的侧面设有悬臂梁，悬臂梁上设有压敏电阻，其特征在于：所述悬臂梁由两个及两个以上的与质量块等高的子悬臂梁组成。本发明的多个子悬臂梁结构，其可以在不改变结构对非敏感方向载荷抑制的条件下，极大的提高结构的灵敏度；在结构灵敏度不变的情况下，极大的提高结构的抑制交叉耦合能力。同时悬臂梁采用与质量块等高结构，易于实现加工。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
一种多悬臂梁加速度传感器，包括质量块，质量块的侧面设有悬臂梁，悬臂梁上设有压敏电阻，其特征在于：所述悬臂梁由两个及两个以上的与质量块等高的子悬臂梁组成。
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