[发明专利]一种太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法

摘要

本发明公开了一种太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，其包括以下步骤：(1)电机带动桨提升石英舟到高位；(2)电机以700～1200mm/min的速率带着石英舟在扩散炉内运行，行程为600～800mm；(3)电机以300～600mm/min的速率带着石英舟在扩散炉内向炉体外运行，行程为1000～1500mm；(4)电机以700～1200mm/min的速率带着石英舟在炉体外运行，行程为600～1300mm。本发明使载着硅片的石英舟从炉内向炉外运行时的速度慢，硅片从高温处缓慢进入室温处，高、低温变化慢，减少了硅片中残余的热应力，避免了硅片中残余的热应力致使硅片弯曲或碎裂的现象的发生。

主权项

一种太阳能电池片扩散工艺中的退舟出炉方法，对完成扩散制备p‑n结后的硅片出炉，其包括步骤(1)电机带动桨提升载有硅片的石英舟到高位；其特征在于：其还包括以下步骤：(2)电机以700～1200mm/min的速率带着载有硅片的石英舟在扩散炉内运行，行程为600～800mm；(3)电机以300～600mm/min的速率带着载有硅片的石英舟在扩散炉内向炉体外运行，行程为1000～1500mm；(4)电机以700～1200mm/min的速率带着载有硅片的石英舟在炉体外运行，行程为600～1300mm。