[发明专利]双粒径二氧化硅溶胶及其制备方法有效
申请号: | 201110242293.0 | 申请日: | 2011-08-23 |
公开(公告)号: | CN102372273A | 公开(公告)日: | 2012-03-14 |
发明(设计)人: | 李家荣;关飞飞;王航波 | 申请(专利权)人: | 南通海迅天恒纳米科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/14 | 分类号: | C01B33/14;C01B33/113 |
代理公司: | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人: | 卢霞 |
地址: | 226600 江苏省南*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种双粒径二氧化硅溶胶,包括两个粒径范围:一个粒径范围为50~100nm,一个粒径范围为150~200nm。本发明还提供了一种制备双粒径二氧化硅溶胶的方法,以粒径均匀,大小为80nm,比重为1.15~1.25的碱性二氧化硅溶胶为晶种制成。本发明的双粒径二氧化硅溶胶的制备方法,具有方法简单、制备出的二氧化硅溶胶有较长的储藏期,适用于金属、半导体、存储器硬盘基片、化合物晶体、精密仪器等的化学机械抛光。 | ||
搜索关键词: | 粒径 二氧化硅 溶胶 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
双粒径二氧化硅溶胶,其特征在于,包括两个粒径范围:一个粒径范围为50~100 nm,一个粒径范围为150~200 nm。
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