[发明专利]一种用于宽束离子注入机的引出电极系统有效
| 申请号： | 201110241161.6 | 申请日： | 2011-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN102956429A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 邓颖辉;彭立波;林萍 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于宽带束离子注入机的引出电极系统，包括：Y1方向运动机构(1)，移动支架(2)，安装法兰(3)，引出电极(4)，抑制电极(5)，Y2方向运动机构(6)，Z1方向运动机构(7)，Z2方向运动机构(8)，用于连接抑制电极(5)和引出电极(4)的连接柱(9)。其中Y1方向运动机构(1)用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Y1方向上的运动，Y2方向运动机构(6)用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Y2方向上的运动。Z1方向运动机构(7)和Z2方向运动机构(8)分别用于控制抑制电极(5)和引出电极(4)在Z1方向上和Z2方向上的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离子 注入 引出 电极 系统 | ||
【主权项】：
一种用于宽带束离子注入机的引出电极系统，包括：Y1方向运动机构(1)，移动支架(2)，安装法兰(3)，引出电极(4)，抑制电极(5)，Y2方向运动机构(6)，Z1方向运动机构(7)，Z2方向运动机构(8)，用于连接抑制电极(5)和引出电极(4)的连接柱(9)。
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