[发明专利]改善COP的单晶晶棒拉制方法无效
| 申请号： | 201110231925.3 | 申请日： | 2011-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN102345158A | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 韩建超;尚海波 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201617 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善COP的单晶晶棒拉制方法，于石英坩埚内熔融硅，利用籽晶拉制单晶晶棒，围绕石英坩埚设置有上保温筒和下保温筒，所述的石英坩埚上方设置有导流筒，其特征在于，上保温筒设置有1-7层碳毡。本发明中的拉制单晶晶棒的方法，可改善晶棒中的COP，降低了晶棒的不良率，节省生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 改善 cop 单晶晶棒 拉制 方法 | ||
【主权项】：
改善COP的单晶晶棒拉制方法，于石英坩埚内熔融硅，利用籽晶拉制单晶晶棒，围绕石英坩埚设置有上保温筒和下保温筒，所述的石英坩埚上方设置有导流筒，其特征在于，上保温筒设置有1‑7层碳毡。
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