[发明专利]掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统有效
| 申请号： | 201110231766.7 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN102928321A | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 卢丽荣;李志丹;张冲 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02;G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统，包括依次设置的半导体激光器、激光准直组件、多面棱镜、f-θ物镜组件及接收探测组件，所述半导体激光器发出的激光光束经过激光准直组件准直后由多面棱镜转动反射至f-θ物镜组件，最后聚焦于掩模面进行扫描，扫描的检测信息反射至并由所述接收探测组件接收。本发明的掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统采用了该结构简单的柱面镜，达到相同像质情况下，降低了设计难度，且在有限空间里增大扫描范围，体积减小且有利于光机装校；可以补偿多面棱镜反射面与被扫描面的不垂直度误差；降低了多面棱镜的精度从而降低加工成本，以及降低电机精度要求，同时降低f-θ的加工成本。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模面 颗粒 线性 激光 扫描 检测 系统 | ||
【主权项】：
一种掩模面颗粒度线性激光扫描检测系统，其特征在于，包括依次设置的半导体激光器、激光准直组件、多面棱镜、f‑θ物镜组件及接收探测组件，所述半导体激光器发出的激光光束经过激光准直组件准直后由多面棱镜转动反射至f‑θ物镜组件，最后聚焦于掩模面进行扫描，扫描的检测信息反射至并由所述接收探测组件接收。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110231766.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：热电－压电复合型柔性微发电装置
- 下一篇：冰箱
