[发明专利]下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉有效
申请号: | 201110231713.5 | 申请日: | 2011-08-15 |
公开(公告)号: | CN102286779A | 公开(公告)日: | 2011-12-21 |
发明(设计)人: | 吴学军;周凯平 | 申请(专利权)人: | 宁夏日晶新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 银川长征知识产权代理事务所 64102 | 代理人: | 马长增;姚源 |
地址: | 753000 宁夏回*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 一种下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉,包括热场、保温毡、水道和下腔体,下腔体包括圆筒部和底部,圆筒部由内圆筒和外圆筒焊接形成,且内圆筒和外圆筒之间形成第一空间,底部同样由内层和外层焊接形成,且两层之间形成第二空间,水道焊接于下腔体的圆筒部的第一空间内,下腔体的底部外层设置空气进气口、空气出气口和测温口,空气进气口与第二空间相通,空气出气口与第二空间相通。本发明的有益效果在于:保温效果好,便于硅锭的生长;作业过程中减少安全隐患。 | ||
搜索关键词: | 下腔体 保温 结构 采用 多晶 | ||
【主权项】:
一种下腔体保温结构及采用下腔体保温结构的多晶炉,包括热场、保温毡、水道和下腔体,其特征在于:下腔体包括圆筒部和底部,圆筒部由内圆筒和外圆筒焊接形成,且内圆筒和外圆筒之间形成第一空间,底部同样由内层和外层焊接形成,且两层之间形成第二空间,热场安装在下腔体内,保温毡铺在下腔体里面;下腔体保温结构,包括水道和下腔体,下腔体包括圆筒部和底部,圆筒部由内圆筒和外圆筒焊接形成,且内圆筒和外圆筒之间形成第一空间,底部同样由内层和外层焊接形成,且两层之间形成第二空间,水道焊接于下腔体的圆筒部的第一空间内,下腔体的底部外层设置空气进气口、空气出气口和测温口,空气进气口与第二空间相通,空气出气口与第二空间相通。
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