[发明专利]薄电子探测器中的反向散射降低有效
| 申请号： | 201110222290.0 | 申请日： | 2011-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102376516A | 公开（公告）日： | 2012-03-14 |
| 发明（设计）人： | G.C.范霍夫滕;J.洛夫;F.J.P.舒尔曼斯;M.A.W.斯特克伦堡;R.亨德森;A.R.法鲁奇;G.J.麦克穆兰;R.A.D.图尔切塔;N.C.古里尼 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26;H01L27/146 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及薄电子探测器中的反向散射降低。在直接电子探测器中，防止电子从传感器下面到探测器部中的反向散射。在某些实施例中，在传感器下面保持空空间。在其它实施例中，在传感器下面的结构包括：或者延伸到传感器或者从传感器延伸以捕获电子的几何形状，诸如多个高纵横比通道；或者用于偏转通过传感器的电子的斜向表面的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 探测器 中的 反向 散射 降低 | ||
【主权项】：
一种用于透射电子显微镜的照相机（300，400，500，600，700，800），包括：传感器（204，402，502，604，702），所述传感器具有小于100μm的厚度；其特征在于，所述照相机包括：位于所述传感器下面的结构（406，508，608和704），所述结构被配置为降低电子朝向所述传感器的反向散射以通过降低来自反向散射电子的噪声而改进所述传感器的分辨率。
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