[发明专利]用于光刻设备的预对准装置有效
| 申请号： | 201110222168.3 | 申请日： | 2011-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102914951A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 胡松立;姜杰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20;H01L21/68;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种用于光刻设备的预对准装置，用于实现硅片传输中的预对准，包括温度稳定单元及用于支撑所述温度稳定单元的差分调平单元，定向吸盘单元及用于驱动所述定向吸盘单元运动的第一运动机构，定心吸盘单元及用于驱动所述定心吸盘单元运动的第二运动机构；所述温度稳定单元的中心贯通设有一内孔供定向吸盘单元和定心吸盘单元穿过，所述定向吸盘单元位于所述温度稳定单元内孔中心位置处，所述定心吸盘单元位于所述温度稳定单元与定向吸盘单元之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 对准 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻设备的预对准装置，用于实现硅片传输中的预对准，包括温度稳定单元及用于支撑所述温度稳定单元的差分调平单元，定向吸盘单元及用于驱动所述定向吸盘单元运动的第一运动机构，定心吸盘单元及用于驱动所述定心吸盘单元运动的第二运动机构；其特征在于，所述温度稳定单元的中心贯通设有一内孔供定向吸盘单元和定心吸盘单元穿过，所述定向吸盘单元位于所述温度稳定单元内孔中心位置处，所述定心吸盘单元位于所述温度稳定单元与定向吸盘单元之间。
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