[发明专利]一种光刻装置能量传感器有效
| 申请号： | 201110222159.4 | 申请日： | 2011-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN102914946A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 孙文凤;罗闻 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻装置能量传感器，包括：取样光学部分，对照明系统中的光线进行取样；光谱转换部分，将取样光线中的深紫外脉冲转换成可见光脉冲；光电转换部分，将可见光脉冲信号转换为电流信号；以及差分放大输出部分，将电流信号放大成电压信号输出。本发明的光刻装置能量传感器，能够实现大范围辐射波长的转换，提高辐射能量转换的线性度和能量密度的探测精度，从而提高光刻装置的剂量控制性能和生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 装置 能量 传感器 | ||
【主权项】：
一种光刻装置能量传感器，包括：取样光学部分，对照明系统中的光线进行取样；光谱转换部分，将取样光线中的深紫外脉冲转换成可见光脉冲；光电转换部分，将可见光脉冲信号转换为电流信号；以及差分放大输出部分，将电流信号放大成电压信号输出。
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