[发明专利]提高光刻机工艺效率的方法

摘要

本发明提供一种提高光刻机工艺效率的方法，光刻机包括光刻机主体、两个晶圆盒进出端口和机械手臂，光刻机主体包括对准机构、曝光机构和等待机构，包括步骤：取片、对准、曝光、等待、送片：由机械手臂从等待机构取回晶圆，送回第一端口；返回取片步骤，当机械手臂从第一端口取走最后一片晶圆后，其开始从第二端口取出第一片晶圆，送入光刻机主体中；当机械手臂从第二端口取走最后一片晶圆后，其又开始从第一端口取出第一片晶圆，送入光刻机主体中；两个晶圆盒进出端口如此循环交替。本发明将两个晶圆盒进出端口均作为送料端口和接收端口，彼此不断循环交替，使离线光刻机可持续不断地工作，缩短其闲置时间，提高工艺效率和产量。

主权项

一种提高光刻机工艺效率的方法，所述光刻机包括一光刻机主体、第一晶圆盒进出端口、第二晶圆盒进出端口和一机械手臂，所述光刻机主体包括一对准机构、一曝光机构和一等待机构，所述方法包括步骤：取片步骤：所述机械手臂从所述第一晶圆盒进出端口取出一片晶圆，送入所述光刻机主体的所述对准机构中；对准步骤：所述对准机构将所述晶圆与光刻掩模版对准；第一传送步骤：将所述晶圆从所述对准机构传送到所述曝光机构中；曝光步骤：所述曝光机构对对准后的所述晶圆进行曝光；第二传送步骤：将所述晶圆从所述曝光机构传送到所述等待机构中；等待步骤：所述等待机构将曝光后的所述晶圆暂时存放，等待所述机械手臂将其取出；送片步骤：所述机械手臂从所述光刻机主体中的所述等待机构中取回所述晶圆，送回所述第一晶圆盒进出端口；返回所述取片步骤，当所述机械手臂从所述第一晶圆盒进出端口取走最后一片晶圆后，其开始从所述第二晶圆盒进出端口取出第一片晶圆，送入所述光刻机主体中；当所述机械手臂从所述第二晶圆盒进出端口取走最后一片晶圆后，其又开始从所述第一晶圆盒进出端口取出第一片晶圆，送入所述光刻机主体中；两个晶圆盒进出端口如此循环交替，直至所有晶圆处理完毕。