[发明专利]薄膜太阳能制造工艺、TCO层的沉积方法,及太阳能电池前体叠层

摘要

描述了在基板上沉积TCO层的方法以及用于太阳能电池的前体。一种在基板102、801上沉积TCO层102、204、404、604的方法包括提供玻璃基板，所述玻璃基板具有第一碱金属浓度；调整所述玻璃基板，其中所述调整包括从以下步骤构成的组中选择出的至少一个步骤：将液体涂覆到所述基板上以形成第一层，所述第一层具有第二碱金属层浓度，所述第二碱金属层浓度高于所述第一碱金属浓度，以及沉积层以形成第二层，所述第二层具有第二碱金属层浓度，所述第二碱金属层浓度高于所述第一碱金属浓度；以及在调整后的基板上方沉积TCO层。

主权项

一种在基板上沉积TCO层的方法，所述方法包括：提供玻璃基板(102；801)，所述玻璃基板(102；801)具有第一碱金属浓度；调整所述玻璃基板，其中所述调整包括从以下步骤构成的组中选择出的至少一个步骤：将液体涂覆到所述基板上以形成第一层，所述第一层具有第二碱金属层浓度，所述第二碱金属层浓度高于所述第一碱金属浓度，以及沉积层以形成第二层，所述第二层具有第二碱金属层浓度，所述第二碱金属层浓度高于所述第一碱金属浓度；以及在调整后的基板上方沉积TCO层(104；204；404；604)。